檢測項目

線寬測量、臺階高度標定、孔徑圓度分析、溝槽深度驗證、邊緣粗糙度評估、周期結構重復性檢驗、三維形貌重構、表面粗糙度（Ra/Rz/Rq）計算、傾斜角測量、曲率半徑測定、平面度誤差分析、垂直度偏差檢驗、同軸度驗證、位置度公差評估、間距重復精度測試、特征尺寸均勻性分析、納米顆粒分布密度統(tǒng)計、微結構縱橫比計算、波紋度參數(shù)提取、缺陷深度定位、納米壓痕恢復率測定、微透鏡陣列曲率一致性檢驗、MEMS懸臂梁撓度測量、光柵周期穩(wěn)定性驗證、微流道截面輪廓分析、納米線直徑均勻性測試、微球體直徑分布統(tǒng)計、薄膜厚度均勻性評估、微齒輪齒形誤差分析、納米孔陣列排布精度檢驗

檢測范圍

半導體晶圓圖形化結構、MEMS加速度計懸臂梁、微流控芯片通道網絡、光學衍射光柵基片、納米壓印模板特征結構、LED芯片外延層界面、磁頭氣墊面微觀形貌、生物傳感器探針陣列、微機電陀螺振子結構、納米藥物載體顆粒群、精密模具型腔表面、光纖端面微結構涂層、太陽能電池絨面結構、超精密軸承滾道面形貌、微型渦輪葉片葉型輪廓、集成電路TSV通孔陣列、量子點顯示基板像素單元、柔性電極網格結構、微針陣列皮膚貼片通道、納米濾膜孔隙網絡結構、原子力顯微鏡探針針尖形貌X射線光學透鏡波帶片結構空間光調制器像素單元微型燃料電池流場板溝道太赫茲超材料單元結構微反應器混合單元幾何特征光子晶體周期排列結構石墨烯電極微觀拓撲形貌

檢測方法

掃描電子顯微鏡（SEM）測量法：通過二次電子信號采集實現(xiàn)亞微米級表面形貌成像，配合能譜分析進行元素定位測量。

原子力顯微鏡（AFM）探針掃描法：利用探針與樣品間原子作用力實現(xiàn)納米級三維形貌重構，分辨率可達0.1nm。

白光干涉顯微術：基于光波干涉原理的非接觸式測量技術，適用于0.1-100μm范圍內的臺階高度和粗糙度分析。

共聚焦激光掃描顯微術：通過空間濾波消除雜散光干擾，實現(xiàn)亞微米級縱向分辨率的層析成像。

X射線反射計量法（XRR）：利用X射線在薄膜表面的干涉效應測定1-200nm范圍內的膜層厚度與界面粗糙度。

電子束曝光計量系統(tǒng)（EBM）：結合高能電子束掃描與背散射電子探測技術進行亞10nm線寬標定。

檢測標準

ISO13095:2014表面化學分析-原子力顯微鏡-近場光學顯微鏡空間分辨率測定方法

GB/T42752-2023微納尺度幾何量測量方法掃描電子顯微鏡法

ASTME2244-22原子力顯微鏡校準標準規(guī)程

ISO25178-602:2019產品幾何技術規(guī)范(GPS)-表面紋理：區(qū)域-第602部分：標稱特性接觸(觸針)儀器

JISB7440-6:2021光學三維測量系統(tǒng)性能評價方法

VDI/VDE2656Blatt1.3微系統(tǒng)技術中幾何量的光學測量基礎

ISO10934:2020光學和光子學-顯微鏡-物鏡標記

GB/T3505-2021產品幾何技術規(guī)范(GPS)表面結構輪廓法術語定義及表面結構參數(shù)

ASMEB46.1-2019表面紋理（表面粗糙度,波紋度和紋理方向）

ISO14978:2018產品幾何技術規(guī)范(GPS)-測量設備通用概念和要求

檢測儀器

三維激光共聚焦顯微鏡：配備405nm激光光源與壓電陶瓷驅動平臺，實現(xiàn)50nm縱向分辨率的非接觸式三維測量。

場發(fā)射掃描電鏡（FE-SEM）：配置二次電子探測器與背散射電子探測器組合系統(tǒng)，具備1nm分辨率成像能力。

納米坐標測量機（CMM）：集成接觸式探針與光學傳感器復合測頭系統(tǒng)，空間測量精度達(0.5+L/500)μm。

數(shù)字全息顯微系統(tǒng)：基于相移干涉原理實現(xiàn)動態(tài)過程的三維形貌實時監(jiān)測，垂直分辨率優(yōu)于5nm。

X射線斷層掃描儀（μCT）：采用180kV微焦點射線源與20482048像素平板探測器組合架構，空間分辨率達0.5μm。

橢圓偏振光譜儀：配置自動旋轉補償器與多波長光源系統(tǒng)，可測定亞納米級薄膜厚度變化。

檢測報告作用用作

銷售報告：出具正規(guī)第三方檢測報告讓客戶更加信賴自己的產品質量，讓自己的產品更具有說服力。

研發(fā)使用：擁有優(yōu)秀的檢測工程師和先進的測試設備，可降低了研發(fā)成本，節(jié)約時間。

司法服務：協(xié)助相關部門檢測產品，進行科研實驗，為相關部門提供科學、公正、準確的檢測數(shù)據。

大學論文：科研數(shù)據使用。

投標：檢測周期短，同時所花費的費用較低。

準確性較高;工業(yè)問題診斷：較短時間內檢測出產品問題點，以達到盡快止損的目的。

我們的承諾

　　北京中科光析科學技術研究所承諾：我們將根據不同產品類型的特點，并結合不同行業(yè)和國家的法規(guī)標準，選擇適當?shù)臋z測項目和方法進行分析測試，或根據您的要求進行試驗分析。為了不斷改進我們的工作，我們致力于提高產品質控分析、使用性能檢測能力，并持續(xù)加強我們團隊的科研技術。同時，我們將積極跟進新的技術和標準，以最大程度地滿足您的需求和市場要求。