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SEM+EDS聯(lián)用系統(tǒng)主要執(zhí)行四大類檢測任務(wù):1)微觀形貌表征:通過二次電子成像獲取樣品表面納米級分辨率的三維立體形貌特征;2)元素成分分析:基于特征X射線能譜進行元素定性識別與半定量計算;3)元素分布映射:通過面掃描模式建立特定元素的二維濃度分布圖;4)異物/污染物鑒定:對微米級異常顆粒進行原位成分解析。
本技術(shù)適用于固體材料的微觀結(jié)構(gòu)研究:1)金屬材料領(lǐng)域包含斷口形貌分析、晶界腐蝕觀察及鍍層厚度測量;2)半導(dǎo)體行業(yè)用于芯片線路缺陷定位與焊點失效診斷;3)地質(zhì)礦物研究涉及礦石組分解析與包裹體特征研究;4)生物醫(yī)學(xué)方向涵蓋骨組織微觀結(jié)構(gòu)表征與植入體表面改性評估;5)刑事鑒證中可對射擊殘留物或爆炸微粒進行溯源分析。
標(biāo)準操作流程包含三個關(guān)鍵階段:1)樣品制備階段需根據(jù)導(dǎo)電性差異進行噴金/噴碳處理或樹脂鑲嵌固定;2)SEM成像階段采用5-20kV加速電壓獲取不同放大倍數(shù)(100x-300,000x)的二次電子像與背散射電子像;3)EDS分析階段通過設(shè)置15mm工作距離與35取光角進行點分析(spot)、線掃描(linescan)或面掃描(mapping)。特殊樣品需采用低真空模式(<30Pa)或冷凍傳輸系統(tǒng)處理。
典型配置包含:1)場發(fā)射掃描電鏡(FE-SEM):配備浸沒式物鏡系統(tǒng)與三級電磁透鏡組,分辨率可達0.8nm@15kV;2)硅漂移探測器(SDD):能量分辨率優(yōu)于129eV(MnKα),最大輸入計數(shù)率500,000cps;3)聯(lián)用控制系統(tǒng):集成自動樣品臺(移動精度0.1μm)與多通道信號同步采集模塊;4)輔助裝置:配備電子背散射衍射(EBSD)探頭與陰極熒光(CL)探測器擴展功能
銷售報告:出具正規(guī)第三方檢測報告讓客戶更加信賴自己的產(chǎn)品質(zhì)量,讓自己的產(chǎn)品更具有說服力。
研發(fā)使用:擁有優(yōu)秀的檢測工程師和先進的測試設(shè)備,可降低了研發(fā)成本,節(jié)約時間。
司法服務(wù):協(xié)助相關(guān)部門檢測產(chǎn)品,進行科研實驗,為相關(guān)部門提供科學(xué)、公正、準確的檢測數(shù)據(jù)。
大學(xué)論文:科研數(shù)據(jù)使用。
投標(biāo):檢測周期短,同時所花費的費用較低。
準確性高;工業(yè)問題診斷:較短時間內(nèi)檢測出產(chǎn)品問題點,以達到盡快止損的目的。
北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所承諾:我們將根據(jù)不同產(chǎn)品類型的特點,并結(jié)合不同行業(yè)和國家的法規(guī)標(biāo)準,選擇適當(dāng)?shù)臋z測項目和方法進行分析測試,或根據(jù)您的要求進行試驗分析。為了不斷改進我們的工作,我們致力于提高產(chǎn)品質(zhì)控分析、使用性能檢測能力,并持續(xù)加強我們團隊的科研技術(shù)。同時,我們將積極跟進新的技術(shù)和標(biāo)準,以最大程度地滿足您的需求和市場要求。
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