檢測(cè)項(xiàng)目

本報(bào)告重點(diǎn)監(jiān)測(cè)等離子體六類基礎(chǔ)參數(shù)與三項(xiàng)復(fù)合指標(biāo)：

• 電子密度（1E9-1E13cm?量級(jí)）
• 電子溫度（0.1-20eV區(qū)間）
• 離子能量分布函數(shù)
• 空間電位梯度
• 活性粒子濃度（含O?,N??,Ar?等）
• 等離子體鞘層厚度
• 雙極擴(kuò)散系數(shù)
• 碰撞頻率參數(shù)
• 電磁輻射譜特征

檢測(cè)范圍

適用于三類等離子體應(yīng)用場(chǎng)景的全面診斷：

• 工業(yè)制造領(lǐng)域：半導(dǎo)體刻蝕腔體（ICP/CCP）、磁控濺射鍍膜裝置、等離子噴涂設(shè)備的工作狀態(tài)監(jiān)測(cè)
• 科研實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)：托卡馬克裝置邊界層等離子體、激光誘導(dǎo)擊穿光譜(LIBS)等離子體羽流診斷
• 醫(yī)療設(shè)備驗(yàn)證：低溫等離子體滅菌設(shè)備放電參數(shù)標(biāo)定、大氣壓射流等離子體生物效應(yīng)評(píng)估

檢測(cè)方法

• 發(fā)射光譜法(OES)：采用Stark展寬法測(cè)量電子密度，通過(guò)氦原子譜線（587.6nm）計(jì)算溫度參數(shù)
• 朗繆爾探針?lè)ǎ菏褂萌结樝到y(tǒng)同步采集I-V特性曲線，結(jié)合OML理論模型反演等離子體參數(shù)
• ：配置四極桿質(zhì)量分析器(QMS)與殘余氣體分析儀(RGA)，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)反應(yīng)產(chǎn)物組分變化
• ：采用94GHz毫米波系統(tǒng)進(jìn)行非侵入式電子密度剖面測(cè)量
• ：配備納秒級(jí)ICCD相機(jī)記錄等離子體時(shí)空演化過(guò)程

檢測(cè)儀器

• ：AndorSR-500i光譜儀（分辨率0.05nm），配備PI-MAX4ICCD探測(cè)器
• ：IMPEDANSLangmuirPro系列三探針系統(tǒng)（帶寬200MHz）
• ：HidenESPION靜電式質(zhì)譜儀（質(zhì)量范圍1-300amu）
• ：PlasmaSensMWI-94G毫米波測(cè)量系統(tǒng)（空間分辨率1mm）
• ：FLIRA65sc紅外熱像儀（測(cè)溫范圍-40C~1500C）
• ：NIPXIe-5172高速數(shù)字化儀（采樣率250MS/s）

所有設(shè)備均通過(guò)NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)驗(yàn)證，實(shí)驗(yàn)室環(huán)境控制在溫度231C、濕度455%RH條件下運(yùn)行。原始數(shù)據(jù)經(jīng)MATLAB專用算法處理并生成三維參數(shù)分布圖

檢測(cè)報(bào)告作用

檢測(cè)報(bào)告作用

銷售報(bào)告：出具正規(guī)第三方檢測(cè)報(bào)告讓客戶更加信賴自己的產(chǎn)品質(zhì)量，讓自己的產(chǎn)品更具有說(shuō)服力。

研發(fā)使用：擁有優(yōu)秀的檢測(cè)工程師和先進(jìn)的測(cè)試設(shè)備，可降低了研發(fā)成本，節(jié)約時(shí)間。

司法服務(wù)：協(xié)助相關(guān)部門(mén)檢測(cè)產(chǎn)品，進(jìn)行科研實(shí)驗(yàn)，為相關(guān)部門(mén)提供科學(xué)、公正、準(zhǔn)確的檢測(cè)數(shù)據(jù)。

大學(xué)論文：科研數(shù)據(jù)使用。

投標(biāo)：檢測(cè)周期短，同時(shí)所花費(fèi)的費(fèi)用較低。

準(zhǔn)確性高;工業(yè)問(wèn)題診斷：較短時(shí)間內(nèi)檢測(cè)出產(chǎn)品問(wèn)題點(diǎn)，以達(dá)到盡快止損的目的。

我們的承諾

　　北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所承諾：我們將根據(jù)不同產(chǎn)品類型的特點(diǎn)，并結(jié)合不同行業(yè)和國(guó)家的法規(guī)標(biāo)準(zhǔn)，選擇適當(dāng)?shù)臋z測(cè)項(xiàng)目和方法進(jìn)行分析測(cè)試，或根據(jù)您的要求進(jìn)行試驗(yàn)分析。為了不斷改進(jìn)我們的工作，我們致力于提高產(chǎn)品質(zhì)控分析、使用性能檢測(cè)能力，并持續(xù)加強(qiáng)我們團(tuán)隊(duì)的科研技術(shù)。同時(shí)，我們將積極跟進(jìn)新的技術(shù)和標(biāo)準(zhǔn)，以最大程度地滿足您的需求和市場(chǎng)要求。