檢測項目

電子特氣檢測涵蓋六大核心指標：

• 純度分析：主成分含量測定（≥99.999%級）、痕量雜質(zhì)總量控制（ppb級）
• 金屬雜質(zhì)：鈉/鐵/銅/鎳等18種金屬元素定量分析（≤0.1ppb）
• 顆粒物濃度：0.1-5μm粒徑分布統(tǒng)計（Class0級標準）
• 水分含量：露點溫度換算（-80℃至-110℃區(qū)間測量）
• 氧含量測定：分子態(tài)氧與氧化性化合物總量控制（≤1ppm）
• 腐蝕性氣體：鹵素化合物/硫化物/氨類物質(zhì)痕量檢測（≤10ppb）

檢測范圍

電子特氣檢測覆蓋半導(dǎo)體制造全流程：

• 光刻工藝：KrF/ArF準分子激光氣體混合比驗證
• 蝕刻工序：CF4/C4F8/Cl2等反應(yīng)氣體純度監(jiān)控
• 化學沉積：SiH4/NH3/PH3等前驅(qū)體雜質(zhì)篩查
• 離子注入：BF3/AsH3摻雜氣體金屬污染控制
• 載氣系統(tǒng)：高純氮/氬/氦氣顆粒物實時監(jiān)測
• 特種氣體：GeH4/WF6等金屬有機化合物穩(wěn)定性測試

檢測方法

主流分析方法體系包含四類技術(shù)路徑：

• 氣相色譜法（GC）：配備TCD/FID/PID多模檢測器實現(xiàn)C1-C6烴類物質(zhì)分離定量
• 質(zhì)譜聯(lián)用技術(shù)（GC-MS）：EI電離源配合NIST數(shù)據(jù)庫完成未知雜質(zhì)定性分析
• 傅里葉紅外光譜（FTIR）：MCT探測器實現(xiàn)極性分子振動光譜特征識別
• 電感耦合等離子體（ICP-MS）：四級桿質(zhì)量過濾器完成ppt級金屬元素測定
• 激光散射法：符合ISO14644標準的潔凈度在線監(jiān)測方案
• 電化學傳感法：固態(tài)傳感器陣列構(gòu)建多組分實時分析系統(tǒng)

檢測儀器

標準實驗室配置八大類科學設(shè)備：

• 高分辨氣相色譜儀：Agilent8890型配備微板流路控制模塊
• 飛行時間質(zhì)譜儀：TOFWERKVocusCI-TOF實現(xiàn)秒級響應(yīng)監(jiān)測
• 低溫濃縮系統(tǒng):Entech7100A預(yù)濃縮儀支持100倍富集因子
• <強態(tài)傅里葉紅外光譜儀>:BrukerVERTEX80v真空光學系統(tǒng)
• <強級粒子計數(shù)器>:ParticleMeasuringSystemsAPMS-1000
• <強合等離子體質(zhì)譜儀>:PerkinElmerNexION5000三重四級桿
• <強態(tài)水分分析儀>:MBW373激光露點儀（-110℃量程）
• <強態(tài)氣體純化裝置>:SAESPS10-MT50在線凈化模塊

檢測報告作用

檢測報告作用

銷售報告：出具正規(guī)第三方檢測報告讓客戶更加信賴自己的產(chǎn)品質(zhì)量，讓自己的產(chǎn)品更具有說服力。

研發(fā)使用：擁有優(yōu)秀的檢測工程師和先進的測試設(shè)備，可降低了研發(fā)成本，節(jié)約時間。

司法服務(wù)：協(xié)助相關(guān)部門檢測產(chǎn)品，進行科研實驗，為相關(guān)部門提供科學、公正、準確的檢測數(shù)據(jù)。

大學論文：科研數(shù)據(jù)使用。

投標：檢測周期短，同時所花費的費用較低。

準確性高;工業(yè)問題診斷：較短時間內(nèi)檢測出產(chǎn)品問題點，以達到盡快止損的目的。

我們的承諾

　　北京中科光析科學技術(shù)研究所承諾：我們將根據(jù)不同產(chǎn)品類型的特點，并結(jié)合不同行業(yè)和國家的法規(guī)標準，選擇適當?shù)臋z測項目和方法進行分析測試，或根據(jù)您的要求進行試驗分析。為了不斷改進我們的工作，我們致力于提高產(chǎn)品質(zhì)控分析、使用性能檢測能力，并持續(xù)加強我們團隊的科研技術(shù)。同時，我們將積極跟進新的技術(shù)和標準，以最大程度地滿足您的需求和市場要求。