真空機(jī)測(cè)試

2025-05-20 09:57:42

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原創(chuàng)版權(quán)

摘要：真空機(jī)測(cè)試是評(píng)估設(shè)備性能與可靠性的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，主要涵蓋密封性、真空度維持能力及抽氣效率等核心指標(biāo)。本文依據(jù)GB/T 3163-2022《真空技術(shù)術(shù)語(yǔ)》及ISO 21360:2019標(biāo)準(zhǔn)要求，系統(tǒng)闡述真空機(jī)的標(biāo)準(zhǔn)化檢測(cè)流程與技術(shù)要求，重點(diǎn)解析實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下的關(guān)鍵參數(shù)驗(yàn)證方法及儀器選型規(guī)范。

因業(yè)務(wù)調(diào)整，部分個(gè)人測(cè)試暫不接受委托，望見(jiàn)諒。

項(xiàng)目咨詢(xún)

點(diǎn)擊詢(xún)價(jià)

檢測(cè)項(xiàng)目

真空機(jī)核心檢測(cè)項(xiàng)目包含六大類(lèi)：

密封性能測(cè)試：驗(yàn)證腔體靜態(tài)泄漏率是否≤510??Pam/s
極限真空度測(cè)試：測(cè)定設(shè)備在空載狀態(tài)下可達(dá)到的最低壓力值
抽氣速率測(cè)試：量化單位時(shí)間內(nèi)氣體排出體積（m/h）
系統(tǒng)泄漏率測(cè)試：動(dòng)態(tài)工況下的綜合密封性能評(píng)估
溫度穩(wěn)定性測(cè)試：連續(xù)運(yùn)行過(guò)程中腔體溫升控制≤2℃
電氣安全性能測(cè)試：包括絕緣電阻（≥100MΩ）與耐壓強(qiáng)度（1500V/60s）驗(yàn)證

檢測(cè)范圍

本檢測(cè)方案適用于以下三類(lèi)真空設(shè)備：

設(shè)備類(lèi)型工作壓力范圍（Pa）典型應(yīng)用領(lǐng)域旋片式真空機(jī)110?~110食品包裝/電子元件封裝羅茨真空機(jī)組110?~110化工流程/冶金脫氣低溫泵系統(tǒng)110??~110??半導(dǎo)體制造/高能物理實(shí)驗(yàn)

檢測(cè)方法

密封性驗(yàn)證（ISO1608-1:2020）

采用壓力衰減法：向密閉腔體充入99.999%高純氮?dú)庵翗?biāo)定壓力值
使用0.05級(jí)精密壓力傳感器記錄初始?jí)毫?（t=0min）
靜置30分鐘后記錄終止壓力P?（t=30min）
計(jì)算泄漏率Q=(V(P?-P?))/(ΔtP?)，V為腔體容積（m）

極限真空度測(cè)定（GB/T3164-2022）

安裝經(jīng) 校準(zhǔn)的電容薄膜規(guī)（量程110??~110Pa）
啟動(dòng)設(shè)備連續(xù)運(yùn)行至壓力穩(wěn)定狀態(tài)（ΔP≤5%/h）
記錄連續(xù)6小時(shí)內(nèi)的平均壓力值作為最終結(jié)果
環(huán)境溫度需控制在232℃，濕度≤60%RH

抽氣速率標(biāo)定（ISO21360:2019）

采用定容法建立標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試系統(tǒng)：V=100L校準(zhǔn)容器0.5%精度
通過(guò)質(zhì)量流量計(jì)注入干燥空氣（流量范圍0.1~100L/min）
同步采集入口壓力P?與出口壓力P?數(shù)據(jù)（采樣頻率≥10Hz）
S=Q/(P?-P?)，Q為氣體流量（Pam/s）

檢測(cè)儀器

儀器名稱(chēng)技術(shù)參數(shù)計(jì)量證書(shū)要求全量程真空計(jì)組量程110??~110?Pa
精度3%讀數(shù)+0.5%量程校準(zhǔn)周期≤12個(gè)月
包含皮拉尼規(guī)/電離規(guī)模塊校準(zhǔn)數(shù)據(jù)氦質(zhì)譜檢漏儀最小可檢漏率510?Pam/s
響應(yīng)時(shí)間＜3s（He濃度≥90%）需提供NIST溯源證書(shū)
包含標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)報(bào)告（4個(gè)量程點(diǎn)）動(dòng)態(tài)流量校準(zhǔn)裝置流量范圍0.01~1000sccm
不確定度≤1.5%FSD@25℃1℃
內(nèi)置溫度補(bǔ)償算法（-20~80℃）
配備RS485/MODBUS通訊接口
具備自動(dòng)數(shù)據(jù)記錄功能（存儲(chǔ)容量≥8GB）
符合ASTME595材料放氣率標(biāo)準(zhǔn)
配置三級(jí)分子篩過(guò)濾系統(tǒng)（顆粒物≤0.01μm）
集成PID控制模塊（調(diào)節(jié)精度0.2%）
通過(guò)EMCClassB電磁兼容認(rèn)證
防護(hù)等級(jí)IP54（操作面板IP65）
標(biāo)配雙通道壓力傳感器（量程0~200kPaabs）
內(nèi)置自診斷程序（故障代碼＞200種）
支持LabVIEW二次開(kāi)發(fā)接口
配備觸摸屏操作界面（分辨率1280800）
工作電壓220VAC10%（50/60Hz自適應(yīng)）
整機(jī)功耗＜500W（待機(jī)模式＜50W）
尺寸600450300mm（WDH）
重量≤35kg（含支架）
配套軟件符合21CFRPart11規(guī)范
提供五年質(zhì)保服務(wù)
通過(guò)CE/RoHS雙認(rèn)證
可選配多語(yǔ)言操作界面（含中文/英文/日文）
支持遠(yuǎn)程固件升級(jí)功能
配備USB3.0數(shù)據(jù)導(dǎo)出接口
內(nèi)置熱敏打印機(jī)（紙寬58mm）
配置獨(dú)立校準(zhǔn)模式密碼鎖
具備過(guò)壓/過(guò)流保護(hù)功能
環(huán)境工作溫度0~40℃
相對(duì)濕度＜85%（非冷凝狀態(tài)）
標(biāo)配N(xiāo)PT1/4"接口適配器組
提供完整I/O信號(hào)端子排
內(nèi)置實(shí)時(shí)時(shí)鐘模塊（誤差＜30s/月）
支持Modbus-TCP協(xié)議通訊
配備SD卡擴(kuò)展槽（最大支持512GB）
具備自動(dòng)零點(diǎn)校正功能
內(nèi)置數(shù)據(jù)濾波算法（可選FIR/IIR模式）
提供三年免費(fèi)軟件更新服務(wù)
通過(guò)ISO/IEC17025實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可配套設(shè)備認(rèn)證
注：以上表格內(nèi)容因篇幅限制僅展示部分典型儀器配置參數(shù)

檢測(cè)報(bào)告作用

銷(xiāo)售報(bào)告：出具正規(guī)第三方檢測(cè)報(bào)告讓客戶(hù)更加信賴(lài)自己的產(chǎn)品質(zhì)量，讓自己的產(chǎn)品更具有說(shuō)服力。

研發(fā)使用：擁有優(yōu)秀的檢測(cè)工程師和先進(jìn)的測(cè)試設(shè)備，可降低了研發(fā)成本，節(jié)約時(shí)間。

司法服務(wù)：協(xié)助相關(guān)部門(mén)檢測(cè)產(chǎn)品，進(jìn)行科研實(shí)驗(yàn)，為相關(guān)部門(mén)提供科學(xué)、公正、準(zhǔn)確的檢測(cè)數(shù)據(jù)。

大學(xué)論文：科研數(shù)據(jù)使用。

投標(biāo)：檢測(cè)周期短，同時(shí)所花費(fèi)的費(fèi)用較低。

準(zhǔn)確性高;工業(yè)問(wèn)題診斷：較短時(shí)間內(nèi)檢測(cè)出產(chǎn)品問(wèn)題點(diǎn)，以達(dá)到盡快止損的目的。

我們的承諾

　　北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所承諾：我們將根據(jù)不同產(chǎn)品類(lèi)型的特點(diǎn)，并結(jié)合不同行業(yè)和國(guó)家的法規(guī)標(biāo)準(zhǔn)，選擇適當(dāng)?shù)臋z測(cè)項(xiàng)目和方法進(jìn)行分析測(cè)試，或根據(jù)您的要求進(jìn)行試驗(yàn)分析。為了不斷改進(jìn)我們的工作，我們致力于提高產(chǎn)品質(zhì)控分析、使用性能檢測(cè)能力，并持續(xù)加強(qiáng)我們團(tuán)隊(duì)的科研技術(shù)。同時(shí)，我們將積極跟進(jìn)新的技術(shù)和標(biāo)準(zhǔn)，以最大程度地滿(mǎn)足您的需求和市場(chǎng)要求。