檢測項目

亞閾值泄漏電流：測量弱反型區(qū)電流特性，參數(shù)包含電流密度（pA/μm）與斜率因子（mV/dec）

柵極直接隧穿電流：量化超薄介質(zhì)層量子隧穿效應(yīng)，檢測參數(shù)包括隧穿電流密度（A/cm2）及電壓系數(shù)

熱載流子注入效應(yīng)：評估高場應(yīng)力下載流子俘獲現(xiàn)象，檢測參數(shù)含界面態(tài)密度（eV?1cm?2）和閾值電壓漂移量（mV）

負偏置溫度不穩(wěn)定性：監(jiān)測PMOS器件退化特性，測量參數(shù)含驅(qū)動電流衰減率（%）與壽命模型激活能（eV）

柵致漏極泄漏：分析短溝道器件邊緣電場分布，參數(shù)涵蓋邊緣電流分量（nA）及幾何相關(guān)性系數(shù)

瞬態(tài)柵極電流：捕獲開關(guān)過程中的動態(tài)泄漏，檢測參數(shù)含上升/下降沿過沖電流峰值（μA）與持續(xù)時間（ns）

柵介質(zhì)層缺陷密度：通過隨機電報噪聲表征，測量參數(shù)包括缺陷能級密度（cm?2eV?1）與俘獲截面（cm2）

偏壓溫度應(yīng)力測試：評估長期工作可靠性，參數(shù)含臨界電場強度（MV/cm）與時間依賴介質(zhì)擊穿壽命（s）

界面態(tài)電荷監(jiān)測：量化硅/介質(zhì)界面缺陷，檢測參數(shù)包含平帶電壓漂移（V）與電容-電壓回滯幅度（V）

反向窄溝道效應(yīng)泄漏：針對先進制程器件，測量參數(shù)含溝道寬度依賴電流梯度（nA/μm）

柵極感應(yīng)浮體效應(yīng)：驗證SOI結(jié)構(gòu)可靠性，參數(shù)包括體電位漂移量（V）與寄生雙極開啟電流（mA）

多柵結(jié)構(gòu)匹配特性：分析FinFET/GAA器件差異性，檢測參數(shù)含相鄰柵極電流失配率（σ%）與溫度相關(guān)系數(shù)

檢測范圍

平面MOSFET器件：涵蓋傳統(tǒng)硅基金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管

FinFET三維結(jié)構(gòu)：包括16nm及以下技術(shù)節(jié)點鰭式場效應(yīng)晶體管

環(huán)柵納米線器件：針對3nm以下全包圍柵極結(jié)構(gòu)晶體管

高壓功率MOSFET：適用于600V及以上耐壓器件柵氧可靠性驗證

存儲單元晶體管：涵蓋DRAM單元晶體管與3D NAND選擇管

射頻SOI器件：適用于絕緣體上硅射頻開關(guān)晶體管

圖像傳感器像素管：包括CMOS圖像傳感器傳輸柵結(jié)構(gòu)

閃存存儲單元：驗證浮柵或電荷俘獲型存儲器柵介質(zhì)特性

SiC/GaN功率器件：針對寬禁帶半導(dǎo)體功率MOS柵極結(jié)構(gòu)

薄膜晶體管陣列：適用于顯示驅(qū)動背板低溫多晶硅器件

相變存儲器選通管：涵蓋硫系化合物存儲器單元柵控特性

神經(jīng)形態(tài)計算器件：包括阻變存儲器與鐵電晶體管柵極結(jié)構(gòu)

檢測標(biāo)準(zhǔn)

JESD35-A 半導(dǎo)體器件柵極完整性測試方法

IEC 60749-27 半導(dǎo)體器件機械與氣候試驗方法-柵介質(zhì)可靠性

GB/T 4937.2021 半導(dǎo)體器件機械和氣候試驗方法 第20部分：柵氧可靠性

JESD22-A117D 偏壓溫度不穩(wěn)定性壽命評估標(biāo)準(zhǔn)

ISO 16750-4 道路車輛電氣環(huán)境條件-功率器件驗證規(guī)范

GB/T 35010 半導(dǎo)體器件微電子機械系統(tǒng)制造技術(shù)柵介質(zhì)檢測規(guī)范

ASTM F1241 MOSFET柵極電荷測量標(biāo)準(zhǔn)指南

檢測儀器

參數(shù)分析儀：執(zhí)行直流電流-電壓掃描，測量范圍覆蓋1fA至1A，分辨率達0.1fA

脈沖式電流測量單元：施加納秒級電壓脈沖，消除自熱效應(yīng)誤差

高溫探針臺：支持-65℃至300℃溫度環(huán)境，配置電磁屏蔽腔體

低頻噪聲分析系統(tǒng)：通過1/f噪聲譜提取界面態(tài)密度參數(shù)

電荷泵測量裝置：量化柵介質(zhì)界面陷阱密度，頻率范圍1kHz-10MHz

時域反射計：測量柵極傳輸線信號完整性，時間分辨率10ps

半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)：集成多通道源測量單元，支持動態(tài)柵壓波形生成

檢測報告作用用作

銷售報告：出具正規(guī)第三方檢測報告讓客戶更加信賴自己的產(chǎn)品質(zhì)量，讓自己的產(chǎn)品更具有說服力。

研發(fā)使用：擁有優(yōu)秀的檢測工程師和先進的測試設(shè)備，可降低了研發(fā)成本，節(jié)約時間。

司法服務(wù)：協(xié)助相關(guān)部門檢測產(chǎn)品，進行科研實驗，為相關(guān)部門提供科學(xué)、公正、準(zhǔn)確的檢測數(shù)據(jù)。

大學(xué)論文：科研數(shù)據(jù)使用。

投標(biāo)：檢測周期短，同時所花費的費用較低。

準(zhǔn)確性較高;工業(yè)問題診斷：較短時間內(nèi)檢測出產(chǎn)品問題點，以達到盡快止損的目的。

我們的承諾

　　北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所承諾：我們將根據(jù)不同產(chǎn)品類型的特點，并結(jié)合不同行業(yè)和國家的法規(guī)標(biāo)準(zhǔn)，選擇適當(dāng)?shù)臋z測項目和方法進行分析測試，或根據(jù)您的要求進行試驗分析。為了不斷改進我們的工作，我們致力于提高產(chǎn)品質(zhì)控分析、使用性能檢測能力，并持續(xù)加強我們團隊的科研技術(shù)。同時，我們將積極跟進新的技術(shù)和標(biāo)準(zhǔn)，以最大程度地滿足您的需求和市場要求。