檢測項目

電阻率、載流子濃度、霍爾系數(shù)、遷移率、導(dǎo)電類型、溫度系數(shù)、各向異性系數(shù)、表面粗糙度影響值、晶體缺陷密度、氧含量干擾值、碳含量干擾值、摻雜均勻性、軸向分布梯度、徑向分布梯度、熱穩(wěn)定性參數(shù)、光照響應(yīng)特性、磁場干擾系數(shù)、接觸電阻誤差值、厚度修正因子、幾何尺寸效應(yīng)值、電極間距校準(zhǔn)值、電流線性度偏差、電壓降補償值、環(huán)境溫濕度修正值、高頻特性衰減率、應(yīng)力敏感系數(shù)、退火處理影響值、腐蝕后特性變化率、拋光面反射率關(guān)聯(lián)值

檢測范圍

直拉法生長n型硅單晶錠、區(qū)熔法p型硅單晶棒、中子嬗變摻雜硅片、(100)晶向拋光片、(111)晶向研磨片、(110)晶向切割片、摻磷砷化鎵異質(zhì)襯底片、摻硼太陽能級硅片、(001)切型外延襯底片、(311)切型探測器級硅片、(511)切型功率器件用硅片、(100)偏4切型VLSI用硅片、(111)偏3切型MEMS用硅片、(110)偏2切型傳感器用硅片、(100)雙面拋光超薄片、(111)背面減薄測試片、(110)邊緣倒角處理片、(100)表面鈍化處理片、(111)氮化硅掩膜覆蓋片、(110)二氧化硅介質(zhì)層復(fù)合片、(100)多孔硅結(jié)構(gòu)樣品、(111)納米線陣列集成片、(110)微機電系統(tǒng)加工片、(100)離子注入改性層樣品、(111)激光退火處理區(qū)樣品、(110)化學(xué)機械拋光損傷層樣品、(100)外延生長層界面樣品、(111)金屬電極蒸鍍測試樣片、(110)光刻膠圖形化測試樣片

檢測方法

四探針線性陣列法：采用等間距鎢探針在樣品表面形成電流場，通過測量中間兩探針的電位差計算體電阻率范德堡法：使用四電極對稱接觸模式測量各向異性材料的電阻張量擴展電阻探針技術(shù)（SRP）：通過納米級探針掃描獲得微區(qū)電阻率分布圖微波光電導(dǎo)衰減法（μ-PCD）：利用微波探測光生載流子的復(fù)合壽命推算電阻率霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)：在垂直磁場中測量橫向電壓確定載流子濃度與遷移率傅里葉變換紅外光譜（FTIR）：通過氧沉淀特征峰分析氧含量對電阻率的影響二次離子質(zhì)譜（SIMS）：深度剖析摻雜元素濃度分布X射線衍射（XRD）：評估晶體缺陷密度與晶格畸變程度掃描電子顯微鏡（SEM）：觀測表面形貌與電極接觸質(zhì)量熱波成像系統(tǒng)：非接觸式測量熱擴散系數(shù)關(guān)聯(lián)電學(xué)特性

檢測標(biāo)準(zhǔn)

ASTMF84-2019《硅材料電阻率測量的標(biāo)準(zhǔn)試驗方法》GB/T1551-2021《硅單晶電阻率測定方法》IEC60476-2015《半導(dǎo)體材料電阻率的無接觸測量方法》JISH0605-2018《硅晶體電阻率的測試方法》SEMIMF84-2020《硅片電阻率的四探針測量》ISO16337-2019《微電子應(yīng)用硅片中擴展電阻的測量》DIN50432-2017《半導(dǎo)體技術(shù)-單晶硅電阻率的測定》BSEN15305-2010《非破壞性試驗-半導(dǎo)體材料的渦流電阻率測試》GB/T35007-2018《碳化硅單晶電阻率測試方法》T/CSTM00245-2020《重摻砷硅單晶電阻率測試規(guī)范》

檢測儀器

四點探針測試儀：配備自動壓力控制探針臺和溫控樣品臺的高精度測量系統(tǒng)霍爾效應(yīng)測量系統(tǒng)：集成超導(dǎo)磁體與低溫恒溫器的寬溫域測試平臺擴展電阻分析儀：配置納米定位系統(tǒng)的微區(qū)電學(xué)特性測繪裝置微波光電導(dǎo)儀：采用532nm激光激發(fā)與26.5GHz微波探測的復(fù)合系統(tǒng)非接觸渦流測厚儀：基于電磁感應(yīng)原理的表面薄層電阻測量設(shè)備高阻計：可測10^3~10^16Ωcm范圍的超絕緣材料分析儀器同步輻射X射線形貌儀：用于晶體缺陷三維成像的大型科學(xué)裝置二次離子質(zhì)譜儀：配備Cs+離子源的高靈敏度深度剖析設(shè)備原子力顯微鏡（AFM）：結(jié)合導(dǎo)電探針的納米級電學(xué)特性表征模塊低溫強磁場綜合測試系統(tǒng)：集成4.2K低溫與12T磁場的極端條件測量平臺

檢測報告作用用作

銷售報告：出具正規(guī)第三方檢測報告讓客戶更加信賴自己的產(chǎn)品質(zhì)量，讓自己的產(chǎn)品更具有說服力。

研發(fā)使用：擁有優(yōu)秀的檢測工程師和先進的測試設(shè)備，可降低了研發(fā)成本，節(jié)約時間。

司法服務(wù)：協(xié)助相關(guān)部門檢測產(chǎn)品，進行科研實驗，為相關(guān)部門提供科學(xué)、公正、準(zhǔn)確的檢測數(shù)據(jù)。

大學(xué)論文：科研數(shù)據(jù)使用。

投標(biāo)：檢測周期短，同時所花費的費用較低。

準(zhǔn)確性較高;工業(yè)問題診斷：較短時間內(nèi)檢測出產(chǎn)品問題點，以達到盡快止損的目的。

我們的承諾

　　北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所承諾：我們將根據(jù)不同產(chǎn)品類型的特點，并結(jié)合不同行業(yè)和國家的法規(guī)標(biāo)準(zhǔn)，選擇適當(dāng)?shù)臋z測項目和方法進行分析測試，或根據(jù)您的要求進行試驗分析。為了不斷改進我們的工作，我們致力于提高產(chǎn)品質(zhì)控分析、使用性能檢測能力，并持續(xù)加強我們團隊的科研技術(shù)。同時，我們將積極跟進新的技術(shù)和標(biāo)準(zhǔn)，以最大程度地滿足您的需求和市場要求。