上海氦質(zhì)譜檢漏

2025-05-19 09:18:16

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原創(chuàng)版權(quán)

摘要：氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是精密泄漏檢測的核心手段之一，廣泛應(yīng)用于高密封性要求的工業(yè)領(lǐng)域。本文系統(tǒng)闡述上海地區(qū)氦質(zhì)譜檢漏的標(biāo)準(zhǔn)化檢測流程，重點(diǎn)解析真空系統(tǒng)、壓力容器及復(fù)雜管路的泄漏定位方法，涵蓋示蹤氣體選擇、儀器靈敏度校準(zhǔn)及誤差控制等關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)。

因業(yè)務(wù)調(diào)整，部分個(gè)人測試暫不接受委托，望見諒。

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檢測方法

點(diǎn)擊詢價(jià)

檢測項(xiàng)目

氦質(zhì)譜檢漏主要針對(duì)以下關(guān)鍵項(xiàng)目開展定量分析：

真空系統(tǒng)整體泄漏率測定
密封容器/腔體微泄漏定位
焊接接頭滲透性評(píng)估
閥門/法蘭動(dòng)態(tài)密封測試
多層復(fù)合結(jié)構(gòu)界面泄漏分析
微型電子器件封裝完整性驗(yàn)證

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域需執(zhí)行晶圓反應(yīng)腔體10^-9Pam³/s級(jí)泄漏檢測；航空航天領(lǐng)域則要求推進(jìn)劑貯箱達(dá)到10^-12Pam³/s的嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)。

檢測范圍

行業(yè)領(lǐng)域典型檢測對(duì)象允許泄漏率范圍新能源電池燃料電池雙極板/鋰電池鋁塑膜封裝≤510^-7mbarL/s醫(yī)療設(shè)備MRI超導(dǎo)磁體杜瓦/血液透析機(jī)管路≤110^-8mbarL/s汽車制造新能源車電池包/氫燃料儲(chǔ)罐≤310^-9mbarL/s電力設(shè)備GIS開關(guān)設(shè)備/SF6斷路器≤110^-6mbarL/s科研裝置同步輻射光源真空環(huán)/托卡馬克裝置≤510^-11mbarL/s

檢測方法

標(biāo)準(zhǔn)檢測流程包含以下技術(shù)環(huán)節(jié)：

真空法（VacuumnMethod）
- 將被測件接入真空系統(tǒng)并抽至10^-3Pa基準(zhǔn)壓力
- 通過質(zhì)量分析器監(jiān)測氦峰（m/z=4）信號(hào)強(qiáng)度變化
- 采用標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行儀器靈敏度校準(zhǔn)（GB/T12604.7-2021）
噴吹法（SnifferProbe）
- 對(duì)充壓至0.5-2MPa的密閉系統(tǒng)外表面進(jìn)行氦氣噴掃
- 使用移動(dòng)式探頭以5mm/s速度進(jìn)行區(qū)域掃描定位
- 需補(bǔ)償環(huán)境本底氦濃度（通?！?ppm）的影響量值
累積法（AccumulationMethod）
- 在密閉測試罩內(nèi)充注5%氦氮混合示蹤氣體
- 通過時(shí)間積分計(jì)算24小時(shí)泄漏總量（ASTME499/E499M）
- 適用于大型儲(chǔ)罐/管網(wǎng)的整體驗(yàn)收測試
背壓法（BombingTest）
- 將待測件置于高壓氦氣環(huán)境（≥20bar）保持4小時(shí)以上
- 轉(zhuǎn)移至真空室后測量逸出氦氣量（MIL-STD-883J）
- 專用于微電子器件封裝質(zhì)量評(píng)估

檢測儀器

設(shè)備類型技術(shù)參數(shù)要求典型應(yīng)用場景配置方案四極桿質(zhì)譜儀
(AgilentVS系列)-最小可檢漏率：510^-13Pam/s
-響應(yīng)時(shí)間：＜0.5s
-質(zhì)量范圍：1-200amu
-線性度誤差：3%FSD
半導(dǎo)體晶圓廠配套真空機(jī)組
(需配置分子泵+機(jī)械泵多級(jí)抽氣系統(tǒng))磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜儀
(LeyboldPhoenix系列)-分辨率：M/ΔM≥100
-工作壓力范圍：10^-7-10^-2mbar
-零點(diǎn)穩(wěn)定性：5%/24h
-He檢出限：＜0.1ppm
便攜式檢漏儀
(INFICONECOTECPro)-內(nèi)置隔膜泵抽速0.5m/h
-LCD觸摸屏操作界面
-IP54防護(hù)等級(jí)
-WiFi數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)傳輸
現(xiàn)場壓力容器/管道網(wǎng)絡(luò)巡檢作業(yè)
(需配備可更換探頭組件)自動(dòng)化測試臺(tái)
(PfeifferASM340)-PLC控制系統(tǒng)集成
-RS485/Modbus通訊接口
-多通道并行測試能力
-HMI人機(jī)交互工作站
注：所有設(shè)備均需定期通過NIST可追溯標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行量值溯源（周期≤12個(gè)月），并依據(jù)JJF1069建立完整的計(jì)量管理體系。重要提示：實(shí)際檢測中需根據(jù)被測件體積選擇合適的前級(jí)泵組配置方案——當(dāng)容積＞500L時(shí)應(yīng)采用羅茨泵+旋片泵組合以提高抽氣效率；對(duì)于微型器件（＜50cm）則推薦渦輪分子泵直接抽氣模式。

特殊工況處理規(guī)范：若遇含油系統(tǒng)需加裝冷阱防止油蒸氣污染離子源；強(qiáng)電磁環(huán)境作業(yè)時(shí)應(yīng)采用雙層屏蔽電纜并保持設(shè)備接地電阻＜4Ω。

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)參考目錄：1.GB/T12604.7-2021《無損檢測術(shù)語　泄漏檢測》2.ISO20485:2017《非破壞性試驗(yàn)—泄漏試驗(yàn)—示蹤氣體法》3.ASTME493/E493M-22《StandardTestMethodsforLeaksUsingtheMassSpectrometerLeakDetectorintheInside-OutTestingMode》4.JISZ2331:2018《ヘリウムリーク検出方法》5.ASMEBPVCSectionVArticle10《真空箱泄漏試驗(yàn)》

數(shù)據(jù)有效性聲明：本文所述技術(shù)參數(shù)均基于實(shí)驗(yàn)室標(biāo)準(zhǔn)條件（232℃，45-55%RH），實(shí)際工況可能受環(huán)境溫度、振動(dòng)干擾等因素影響需進(jìn)行修正補(bǔ)償。

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