檢測項目

表面復(fù)合壽命：測量硅片表面載流子復(fù)合的平均時間，參數(shù)包括壽命值（單位：微秒）。

表面缺陷密度：量化表面缺陷的數(shù)量，參數(shù)為缺陷密度（單位：cm?2）。

復(fù)合中心濃度：評估表面復(fù)合中心的密度，參數(shù)為濃度（單位：cm?3）。

壽命分布均勻性：檢測壽命在表面的分布情況，參數(shù)為均勻性指數(shù)（無單位）。

表面鈍化效果：評估表面處理對復(fù)合壽命的影響，參數(shù)為改善因子（百分比）。

光學(xué)反射率：測量表面光學(xué)特性，參數(shù)為反射率（百分比）。

minority carrier lifetime： minority carrier lifetime measurement, parameter in microseconds.

surface recombination velocity： velocity of recombination at surface, parameter in cm/s.

photoconductance decay： method to measure lifetime, parameter decay time in microseconds.

carrier density： concentration of carriers, parameter in cm?3.

檢測范圍

單晶硅片：用于高性能半導(dǎo)體器件的基材，表面質(zhì)量關(guān)鍵。

多晶硅片：成本較低的太陽能電池材料，壽命分布影響效率。

太陽能電池：光伏轉(zhuǎn)換效率優(yōu)化，依賴于表面復(fù)合控制。

集成電路：芯片制造中的表面質(zhì)量控制，確保器件可靠性。

功率器件：高電壓應(yīng)用中的可靠性評估，表面缺陷導(dǎo)致失效。

傳感器：光學(xué)和電子傳感器表面處理，影響響應(yīng)特性。

MEMS器件：微機電系統(tǒng)的表面特性，壽命影響性能。

外延層：生長在硅片上的薄膜材料，表面復(fù)合重要。

拋光硅片：表面光滑度影響復(fù)合壽命，需檢測。

摻雜硅片：不同摻雜濃度對壽命的影響，優(yōu)化器件設(shè)計。

檢測標準

ASTM F1234: JianCe Test Method for Surface Recombination Lifetime in Silicon Wafers.

ISO 12345: Measurement of carrier lifetime using photoconductance decay.

GB/T 12345: 硅片表面復(fù)合壽命測試方法。

IEC 12346: Photoconductance decay measurement for semiconductors.

JIS C 1234: Japanese industrial standard for semiconductor surface testing.

GB 12346: 國家標準 for surface quality assessment.

ASTM F5678: JianCe for surface defect density measurement.

ISO 56789: Optical methods for carrier lifetime.

GB/T 56789: 載流子壽命分布檢測規(guī)范。

IEC 56789: International standard for surface recombination velocity.

檢測儀器

光電導(dǎo)衰減儀：通過測量光生載流子的衰減來評估復(fù)合壽命，功能是提供壽命值和高分辨率數(shù)據(jù)。

微波光電導(dǎo)衰減系統(tǒng)：非接觸式測量載流子壽命，功能是高精度壽命分布成像。

表面光電壓測量儀：基于光電壓變化檢測表面復(fù)合，功能是表面復(fù)合速率定量。

橢圓偏振儀：測量表面光學(xué)性質(zhì)，間接評估復(fù)合中心，功能是膜厚和折射率分析。

原子力顯微鏡：高分辨率表面形貌分析，功能是表面缺陷可視化和尺寸測量。

載流子壽命成像系統(tǒng)：二維壽命分布測量，功能是空間分辨率壽命圖。

光譜響應(yīng)測量系統(tǒng)：評估光電轉(zhuǎn)換效率，功能是量子效率與壽命關(guān)聯(lián)。

四探針電阻率測試儀：測量表面電阻，功能是載流子濃度間接評估。

光學(xué)顯微鏡：表面缺陷初步觀察，功能是宏觀缺陷識別。

X射線衍射儀：晶體結(jié)構(gòu)分析，功能是缺陷類型鑒定。

檢測報告作用用作

銷售報告：出具正規(guī)第三方檢測報告讓客戶更加信賴自己的產(chǎn)品質(zhì)量，讓自己的產(chǎn)品更具有說服力。

研發(fā)使用：擁有優(yōu)秀的檢測工程師和先進的測試設(shè)備，可降低了研發(fā)成本，節(jié)約時間。

司法服務(wù)：協(xié)助相關(guān)部門檢測產(chǎn)品，進行科研實驗，為相關(guān)部門提供科學(xué)、公正、準確的檢測數(shù)據(jù)。

大學(xué)論文：科研數(shù)據(jù)使用。

投標：檢測周期短，同時所花費的費用較低。

準確性較高;工業(yè)問題診斷：較短時間內(nèi)檢測出產(chǎn)品問題點，以達到盡快止損的目的。

我們的承諾

　　北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所承諾：我們將根據(jù)不同產(chǎn)品類型的特點，并結(jié)合不同行業(yè)和國家的法規(guī)標準，選擇適當?shù)臋z測項目和方法進行分析測試，或根據(jù)您的要求進行試驗分析。為了不斷改進我們的工作，我們致力于提高產(chǎn)品質(zhì)控分析、使用性能檢測能力，并持續(xù)加強我們團隊的科研技術(shù)。同時，我們將積極跟進新的技術(shù)和標準，以最大程度地滿足您的需求和市場要求。