檢測項(xiàng)目

光學(xué)透射率退化：測量掩模透光性能衰減程度，檢測參數(shù)包括波長范圍190nm至400nm，透射率精度0.3%

反射率變化：評估掩模表面反射特性劣化，檢測參數(shù)涵蓋反射角5至75，精度0.5%

表面粗糙度增加：分析掩模表面微結(jié)構(gòu)惡化，檢測參數(shù)涉及Ra值范圍0.1nm至10μm，分辨率0.1nm

尺寸穩(wěn)定性退化：監(jiān)測掩模幾何尺寸熱膨脹或收縮，檢測參數(shù)包括溫度范圍-40C至150C，尺寸變化精度0.01mm

抗磨損性能降低：評估掩模表面耐摩擦損耗能力，檢測參數(shù)包含摩擦次數(shù)1000至10000次，磨損深度測量精度1μm

化學(xué)腐蝕抵抗性：測試掩模抗酸堿性環(huán)境侵蝕性能，檢測參數(shù)涉及腐蝕液濃度0.1%至10%，腐蝕速率精度0.5μg/cm

熱穩(wěn)定性評估：檢測掩模在高溫循環(huán)下的結(jié)構(gòu)完好性，檢測參數(shù)包括溫度梯度50C/min至100C/min，循環(huán)次數(shù)100至500次

濕度影響分析：評估掩模在高濕環(huán)境下的吸濕變形，檢測參數(shù)涵蓋濕度范圍30%RH至95%RH，濕度控制精度2%

UV光照耐久性：測量掩模在紫外輻射下的老化速率，檢測參數(shù)包括UV強(qiáng)度50W/m至200W/m，曝光時(shí)間12至1000小時(shí)

機(jī)械強(qiáng)度退化：評估掩?？箯澢驔_擊能力下降，檢測參數(shù)涉及彎曲角度0至90，載荷范圍1N至50N

檢測范圍

半導(dǎo)體光刻掩模版：用于集成電路制造的光學(xué)圖案轉(zhuǎn)移組件

平板顯示掩模：應(yīng)用于LCD或OLED屏幕生產(chǎn)的光罩元件

MEMS掩模：微機(jī)電系統(tǒng)制造中的圖案化模板

光刻膠掩模：光刻工藝中涂覆于基板的臨時(shí)掩蔽層

納米壓印掩模：納米級結(jié)構(gòu)復(fù)制中的硬質(zhì)模板

掩模保護(hù)膜：覆蓋于掩模表面的防污染薄膜

掩模清洗系統(tǒng)：用于掩模維護(hù)的清潔裝置組件

掩模存儲設(shè)備：掩模長期保存的封裝環(huán)境

掩模傳輸裝置：掩模在生產(chǎn)線中的搬運(yùn)夾具

光學(xué)元件掩模：激光或光學(xué)儀器中的衍射元件

檢測標(biāo)準(zhǔn)

ISO9022-12標(biāo)準(zhǔn)

ASTMG154標(biāo)準(zhǔn)

GB/T2423.50標(biāo)準(zhǔn)

IEC60068-2-30標(biāo)準(zhǔn)

ISO4892-2標(biāo)準(zhǔn)

GB/T5170.1標(biāo)準(zhǔn)

ASTME214標(biāo)準(zhǔn)

ISO11341標(biāo)準(zhǔn)

GB/T16585標(biāo)準(zhǔn)

IEC61215標(biāo)準(zhǔn)

檢測儀器

恒溫恒濕試驗(yàn)箱：模擬高溫高濕老化環(huán)境，溫控精度0.5C，濕度控制精度3%

紫外光照老化試驗(yàn)機(jī)：提供加速UV輻射，波長范圍280nm至400nm，輻照度精度5%

光學(xué)測量分析儀：檢測透射率和反射率變化，光譜分辨率0.1nm，波長范圍190nm至2500nm

表面形貌顯微鏡：評估表面粗糙度和缺陷，放大倍數(shù)50X至1000X，分辨率0.01μm

力學(xué)強(qiáng)度測試儀：測量彎曲和沖擊性能，載荷范圍0.1N至100N，精度0.1%

檢測報(bào)告作用用作

銷售報(bào)告：出具正規(guī)第三方檢測報(bào)告讓客戶更加信賴自己的產(chǎn)品質(zhì)量，讓自己的產(chǎn)品更具有說服力。

研發(fā)使用：擁有優(yōu)秀的檢測工程師和先進(jìn)的測試設(shè)備，可降低了研發(fā)成本，節(jié)約時(shí)間。

司法服務(wù)：協(xié)助相關(guān)部門檢測產(chǎn)品，進(jìn)行科研實(shí)驗(yàn)，為相關(guān)部門提供科學(xué)、公正、準(zhǔn)確的檢測數(shù)據(jù)。

大學(xué)論文：科研數(shù)據(jù)使用。

投標(biāo)：檢測周期短，同時(shí)所花費(fèi)的費(fèi)用較低。

準(zhǔn)確性較高;工業(yè)問題診斷：較短時(shí)間內(nèi)檢測出產(chǎn)品問題點(diǎn)，以達(dá)到盡快止損的目的。

我們的承諾

　　北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所承諾：我們將根據(jù)不同產(chǎn)品類型的特點(diǎn)，并結(jié)合不同行業(yè)和國家的法規(guī)標(biāo)準(zhǔn)，選擇適當(dāng)?shù)臋z測項(xiàng)目和方法進(jìn)行分析測試，或根據(jù)您的要求進(jìn)行試驗(yàn)分析。為了不斷改進(jìn)我們的工作，我們致力于提高產(chǎn)品質(zhì)控分析、使用性能檢測能力，并持續(xù)加強(qiáng)我們團(tuán)隊(duì)的科研技術(shù)。同時(shí)，我們將積極跟進(jìn)新的技術(shù)和標(biāo)準(zhǔn)，以最大程度地滿足您的需求和市場要求。