檢測項目

光柵檢測體系包含四大核心模塊：幾何參數(shù)驗證、光學性能測試、材料特性分析及環(huán)境適應(yīng)性評估。幾何參數(shù)模塊重點檢測刻線節(jié)距誤差（≤±0.1μm）、刻線均勻性（CV值＜3%）及基底平面度（λ/10@632.8nm）。光學性能模塊涵蓋衍射效率偏差（±5%）、偏振靈敏度（＜1dB）及雜散光強度（＜0.5%主峰）。材料特性模塊包括基底應(yīng)力雙折射（＜5nm/cm）、鍍膜附著力（5B級）及熱膨脹系數(shù)匹配性（Δα＜0.5×10??/K）。環(huán)境適應(yīng)性測試涉及溫度循環(huán)（-40℃~85℃）、濕熱老化（85℃/85%RH）及抗振性能（5-500Hz/5Grms）。

檢測范圍

本檢測體系適用于波長范圍200-1600nm的各類衍射光柵：包括透射式全息光柵（600-2400l/mm）、反射式閃耀光柵（300-1800l/mm）及相位型體光柵（周期10-500μm）。覆蓋基底材料包含BK7光學玻璃、熔融石英、硅晶圓及金屬鎳基板等類型。應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋光譜分析儀（分辨率0.05nm）、激光諧振腔（損傷閾值＞5J/cm2）、天文望遠鏡（波前誤差＜λ/4）及半導(dǎo)體光刻系統(tǒng)（套刻精度＜1nm）。特殊場景包含極紫外光柵（13.5nm波段）的等離子體清洗耐受性測試及空間用光柵的抗輻射性能驗證。

檢測方法

幾何參數(shù)采用激光干涉對比法（不確定度±0.05μm）與原子力顯微術(shù)（橫向分辨率1nm）相結(jié)合的雙重驗證機制。衍射效率測試執(zhí)行ISO 13697標準規(guī)定的積分球法（波長掃描步長0.1nm），配合NIST可溯源標準光源進行量值傳遞?？叹€形貌分析采用白光干涉三維輪廓儀（垂直分辨率0.1nm）與掃描電鏡能譜聯(lián)用技術(shù)（放大倍數(shù)50,000×）。環(huán)境試驗依據(jù)MIL-STD-810G標準構(gòu)建三綜合試驗系統(tǒng)：溫度沖擊速率＞15℃/min，振動譜形控制精度±3dB。

檢測儀器

核心設(shè)備配置包含：Zygo Verifire MST干涉儀（4D相位測量）、Bruker ContourGT-K三維光學輪廓儀、Agilent Cary 7000全能型分光光度計（波長精度±0.08nm）。輔助設(shè)備包括：JEOL JSM-7900F場發(fā)射掃描電鏡（電子束流穩(wěn)定性＜0.5%）、Espec PL-3K氣候箱（溫控均勻度±0.5℃）及LDS V964振動臺（頻率控制分辨率0.1Hz）。計量基準設(shè)備配備NIST溯源級氦氖激光波長標準器（λ=632.8nm±0.1ppm）及PTB認證的標準光柵樣板組（周期誤差

檢測報告作用

檢測報告作用

銷售報告：出具正規(guī)第三方檢測報告讓客戶更加信賴自己的產(chǎn)品質(zhì)量，讓自己的產(chǎn)品更具有說服力。

研發(fā)使用：擁有優(yōu)秀的檢測工程師和先進的測試設(shè)備，可降低了研發(fā)成本，節(jié)約時間。

司法服務(wù)：協(xié)助相關(guān)部門檢測產(chǎn)品，進行科研實驗，為相關(guān)部門提供科學、公正、準確的檢測數(shù)據(jù)。

大學論文：科研數(shù)據(jù)使用。

投標：檢測周期短，同時所花費的費用較低。

準確性高;工業(yè)問題診斷：較短時間內(nèi)檢測出產(chǎn)品問題點，以達到盡快止損的目的。

我們的承諾

　　北京中科光析科學技術(shù)研究所承諾：我們將根據(jù)不同產(chǎn)品類型的特點，并結(jié)合不同行業(yè)和國家的法規(guī)標準，選擇適當?shù)臋z測項目和方法進行分析測試，或根據(jù)您的要求進行試驗分析。為了不斷改進我們的工作，我們致力于提高產(chǎn)品質(zhì)控分析、使用性能檢測能力，并持續(xù)加強我們團隊的科研技術(shù)。同時，我們將積極跟進新的技術(shù)和標準，以最大程度地滿足您的需求和市場要求。