檢測項目

薄膜面電阻：測量單位面積電阻值，范圍10mΩ/□~10MΩ/□

方塊電阻均勻性：掃描測量100mm×100mm區(qū)域，精度±1.5%

厚度相關(guān)電阻率：結(jié)合橢偏儀數(shù)據(jù)校正，厚度測量分辨率0.1nm

溫度系數(shù)(TCR)：-50℃~150℃溫控測試，精度±5ppm/℃

霍爾效應(yīng)測量：載流子濃度分析，磁場強度0.5T

穿透深度分析：高頻信號衰減測試，頻率范圍1MHz~40GHz

表面粗糙度關(guān)聯(lián)性：AFM形貌掃描與電阻映射同步

應(yīng)力效應(yīng)電阻：彎曲半徑≥5mm的機械形變測試

氧化層阻抗：三明治結(jié)構(gòu)界面電阻，DC偏壓0~10V

各向異性導(dǎo)電：X/Y/Z軸向四探針矩陣測量

熱循環(huán)穩(wěn)定性：-196℃~300℃液氮至高溫循環(huán)50次

納米級局部電阻：導(dǎo)電原子力顯微鏡(CAFM)點測量，探針曲率半徑10nm

檢測范圍

半導(dǎo)體濺射靶材：銅/鉭/鈦薄膜，厚度50~500nm

光伏背電極：鋁/銀復(fù)合膜層，載流子遷移率測試

柔性電路FPC：聚酰亞胺基銅鎳合金膜，彎曲疲勞測試

磁記錄介質(zhì)：鈷鉻鉑薄膜，各向異性磁阻分析

OLED陽極層：氧化銦錫(ITO)透明導(dǎo)電膜，霧度值≤2%

微波器件電極：金/氮化鈦薄膜，高頻趨膚深度測量

核反應(yīng)堆包殼：鋯合金涂層，輻照后電阻變化監(jiān)測

熱電轉(zhuǎn)換膜：鉍銻碲化合物，塞貝克系數(shù)關(guān)聯(lián)測試

MEMS開關(guān)觸點：金鎳釩合金，接觸電阻≤100mΩ

超導(dǎo)氮化鈮膜：臨界溫度77K下電阻躍變測試

防電磁干擾屏蔽層：鎳基復(fù)合鍍層，屏蔽效能≥60dB

航空航天熱控涂層：氧化鋁金屬陶瓷膜，太陽吸收比0.2~0.8

檢測標準

ASTM F390-20 半導(dǎo)體金屬膜四探針電阻測試

ISO 17493:2018 高溫環(huán)境電阻率測量規(guī)程

GB/T 1552-2021 硅鍺單晶薄層電阻測定

IEC 61788-17 超導(dǎo)薄膜臨界電流密度測量

JIS H 7305:2019 濺射薄膜方塊電阻測試

GB/T 35011-2018 微機電系統(tǒng)薄膜力學(xué)性能與電學(xué)性能關(guān)聯(lián)測試

ASTM B568 X射線測厚儀校準規(guī)范

ISO 2360 非磁性基底導(dǎo)電涂層渦流法測厚

GB/T 40275-2021 透明導(dǎo)電氧化物薄膜光電性能綜合測量

MIL-DTL-83488D 軍用電子器件金屬膜層驗收標準

檢測儀器

四探針電阻測試儀：配備自動壓力控制探針臺，接觸力0.1~1N可調(diào)，消除壓阻效應(yīng)

變溫霍爾效應(yīng)系統(tǒng)：液氮杜瓦集成，磁場強度±1.2T，載流子分辨率10¹⁰/cm3

非接觸渦流測厚儀：頻率1kHz~10MHz，厚度范圍0.01~1000μm

掃描擴展電阻顯微鏡(SSRM)：納米級電阻成像，空間分辨率30nm

太赫茲時域光譜儀：0.1~4THz頻段，薄膜載流子壽命分析

高低溫探針臺：-70℃~300℃控溫，支持DC/RF探針組

原子層沉積監(jiān)控系統(tǒng)：原位電阻測量同步膜生長，時間分辨率50ms

微波阻抗分析儀：頻率40GHz，介電常數(shù)與電導(dǎo)率同步獲取

檢測報告作用用作

銷售報告：出具正規(guī)第三方檢測報告讓客戶更加信賴自己的產(chǎn)品質(zhì)量，讓自己的產(chǎn)品更具有說服力。

研發(fā)使用：擁有優(yōu)秀的檢測工程師和先進的測試設(shè)備，可降低了研發(fā)成本，節(jié)約時間。

司法服務(wù)：協(xié)助相關(guān)部門檢測產(chǎn)品，進行科研實驗，為相關(guān)部門提供科學(xué)、公正、準確的檢測數(shù)據(jù)。

大學(xué)論文：科研數(shù)據(jù)使用。

投標：檢測周期短，同時所花費的費用較低。

準確性較高;工業(yè)問題診斷：較短時間內(nèi)檢測出產(chǎn)品問題點，以達到盡快止損的目的。

我們的承諾

　　北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所承諾：我們將根據(jù)不同產(chǎn)品類型的特點，并結(jié)合不同行業(yè)和國家的法規(guī)標準，選擇適當?shù)臋z測項目和方法進行分析測試，或根據(jù)您的要求進行試驗分析。為了不斷改進我們的工作，我們致力于提高產(chǎn)品質(zhì)控分析、使用性能檢測能力，并持續(xù)加強我們團隊的科研技術(shù)。同時，我們將積極跟進新的技術(shù)和標準，以最大程度地滿足您的需求和市場要求。