檢測對象覆蓋ISO Class 1至Class 8級潔凈室用移動機(jī)器人系統(tǒng),包括但不限于:晶圓搬運(yùn)機(jī)器人滿足SEMI F47標(biāo)準(zhǔn)要求的振動抑制能力;生物安全柜配套機(jī)器人執(zhí)行HEPA過濾器完整性測試;制藥行業(yè)無菌轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)器人需通過培養(yǎng)基模擬灌裝驗證;平板顯示器生產(chǎn)用AGV需驗證電磁兼容性對精密儀器的影響系數(shù)。特殊應(yīng)用場景延伸至航天器裝配用真空環(huán)境機(jī)器人、核電站去污機(jī)器人等特種設(shè)備的輻射密封性檢測。
檢測方法
采用ISO 14644-3標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的動態(tài)測試法:在28m3受控空間內(nèi)布置36個激光粒子計數(shù)器采樣點(diǎn),機(jī)器人按預(yù)設(shè)路徑執(zhí)行典型動作時同步采集粒徑分布數(shù)據(jù)。氣流可視化測試使用氦氣示蹤法與PIV粒子圖像測速系統(tǒng)組合分析設(shè)備周邊0.5m范圍內(nèi)流場結(jié)構(gòu)。表面清潔度測試依據(jù)IEST RP CC018規(guī)程,采用粘性取樣膜對接觸表面進(jìn)行三次重復(fù)采樣后通過光學(xué)顯微鏡進(jìn)行分級統(tǒng)計。微生物采樣執(zhí)行USP<1116>標(biāo)準(zhǔn)推薦的主動空氣采樣法,在設(shè)備高速移動狀態(tài)下完成6個位點(diǎn)的浮游菌采集。