檢測(cè)項(xiàng)目

膜厚測(cè)量：通過(guò)橢圓偏振光反射相位差變化計(jì)算薄膜厚度，適用于透明/半透明薄膜，厚度范圍1nm~10μm，厚度分辨率±0.1nm。

折射率測(cè)定：基于不同波長(zhǎng)下偏振態(tài)變化確定材料本征折射率，波長(zhǎng)覆蓋200nm~2500nm，折射率精度±0.001。

消光系數(shù)檢測(cè)：分析薄膜對(duì)光的吸收特性，通過(guò)偏振信號(hào)衰減程度計(jì)算消光系數(shù)，消光系數(shù)范圍0~5，測(cè)量誤差±0.05。

表面粗糙度評(píng)估：利用偏振光散射特性量化表面微觀不平度，粗糙度范圍0.1nm~100nm，橫向分辨率5μm。

多層膜結(jié)構(gòu)分析：解析2~10層薄膜的厚度及光學(xué)常數(shù)組合，層間界面分辨能力≥5nm，層數(shù)檢測(cè)上限10層。

均勻性評(píng)估：掃描樣品表面不同區(qū)域獲取厚度/折射率分布，掃描范圍直徑≥200mm，均勻性偏差≤±2%。

溫度影響測(cè)量：監(jiān)測(cè)-50℃~300℃范圍內(nèi)溫度變化對(duì)膜厚及光學(xué)常數(shù)的影響，溫度控制精度±0.5℃，支持動(dòng)態(tài)溫度響應(yīng)分析。

基底效應(yīng)修正：消除基底材料光學(xué)特性（折射率1.3~4.5）對(duì)膜層測(cè)量的干擾，修正誤差≤±1%。

缺陷檢測(cè)：識(shí)別膜層中≥20nm的針孔、裂紋等局部異常，檢測(cè)靈敏度對(duì)比度≥5%，可定位缺陷坐標(biāo)。

材料識(shí)別：通過(guò)光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)匹配確定膜層材料種類，可識(shí)別材料≥500種，識(shí)別準(zhǔn)確率≥95%。

應(yīng)力分布測(cè)量：利用應(yīng)力引起的光學(xué)各向異性變化分析應(yīng)力大小，應(yīng)力范圍0~1GPa，空間分辨率10μm。

檢測(cè)范圍

半導(dǎo)體芯片：硅基、GaAs、InP等半導(dǎo)體材料表面的保護(hù)層、柵極氧化層、金屬互連層薄膜。

光學(xué)薄膜：眼鏡片增透膜、相機(jī)鏡頭濾光膜、激光器諧振腔反射鏡高反膜。

太陽(yáng)能電池：晶體硅太陽(yáng)能電池減反射膜、鈣鈦礦太陽(yáng)能電池緩沖層及電極修飾膜。

顯示器件：OLED屏幕封裝蓋板的隔絕水氧膜、LCD液晶盒取向膜。

精密光學(xué)元件：顯微鏡物鏡增透保護(hù)膜、望遠(yuǎn)鏡鏡片減反射膜、激光切割頭保護(hù)鏡涂層。

生物醫(yī)學(xué)涂層：人工關(guān)節(jié)羥基磷灰石生物活性涂層、藥物緩釋載體聚合物薄膜、植入體抗凝血氮化鈦膜。

電子封裝：集成電路芯片鈍化保護(hù)層、LED芯片封裝硅膠減反射層、功率器件鍵合界面過(guò)渡層。

光伏玻璃：太陽(yáng)能光伏組件玻璃表面的減反射增透膜、自清潔疏水功能膜。

金屬表面處理：不銹鋼廚具耐腐蝕鉻鎳合金涂層、鋁合金建筑型材裝飾性陽(yáng)極氧化膜、五金件耐磨類金剛石膜。

納米材料：石墨烯薄膜、二硫化鉬二維層狀材料、二氧化硅納米顆粒分散液成膜。

檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)

ASTM D3741-14（2020）JianCe Test Method for Thickness and Optical Constants of Thin Films by Ellipsometry。

ISO 17099:2015 Optics and photonics — Optical thin films — Vocabulary and symbols。

GB/T 31356-2014 硅片表面薄膜厚度測(cè)量方法 橢圓偏振法。

GB/T 26332-2010 光學(xué)薄膜 光學(xué)特性測(cè)量方法 第3部分：橢圓偏振法。

ASTM E1396-96(2018) JianCe Test Method for Ellipsometric Measurement of Film Thickness and Optical Constants。

檢測(cè)儀器

橢圓偏振光譜儀：集成氦氖激光器、偏振調(diào)制器及光電探測(cè)器的綜合測(cè)量設(shè)備，通過(guò)分析反射光偏振態(tài)變化實(shí)現(xiàn)膜厚及光學(xué)常數(shù)測(cè)量，支持波長(zhǎng)范圍200nm~2500nm、入射角范圍45°~90°。

高精度角度控制器：采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的角度調(diào)節(jié)裝置，用于精確控制入射光與樣品表面夾角（入射角），角度控制精度±0.01°，步進(jìn)分辨率0.001°。

多波長(zhǎng)光源模塊：包含氙燈（200nm~800nm）、汞燈（365nm~578nm）及半導(dǎo)體激光器（635nm~1550nm）的復(fù)合光源，覆蓋紫外到近紅外光譜范圍，滿足不同材料的特征波長(zhǎng)測(cè)量需求。

自動(dòng)樣品臺(tái)：配備X-Y軸直線導(dǎo)軌及旋轉(zhuǎn)臺(tái)的電動(dòng)平臺(tái)，定位精度±1μm，最大負(fù)載5kg，支持直徑300mm樣品的自動(dòng)掃描測(cè)量，掃描速度≥10mm/s。

數(shù)據(jù)處理與分析軟件：內(nèi)置光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)（含常見(jiàn)材料折射率/消光系數(shù)），采用最小二乘法、遺傳算法等擬合模型，可自動(dòng)計(jì)算膜厚、折射率等參數(shù)，支持?jǐn)?shù)據(jù)導(dǎo)出為PDF/Excel格式。

檢測(cè)報(bào)告作用用作

銷售報(bào)告：出具正規(guī)第三方檢測(cè)報(bào)告讓客戶更加信賴自己的產(chǎn)品質(zhì)量，讓自己的產(chǎn)品更具有說(shuō)服力。

研發(fā)使用：擁有優(yōu)秀的檢測(cè)工程師和先進(jìn)的測(cè)試設(shè)備，可降低了研發(fā)成本，節(jié)約時(shí)間。

司法服務(wù)：協(xié)助相關(guān)部門檢測(cè)產(chǎn)品，進(jìn)行科研實(shí)驗(yàn)，為相關(guān)部門提供科學(xué)、公正、準(zhǔn)確的檢測(cè)數(shù)據(jù)。

大學(xué)論文：科研數(shù)據(jù)使用。

投標(biāo)：檢測(cè)周期短，同時(shí)所花費(fèi)的費(fèi)用較低。

準(zhǔn)確性較高;工業(yè)問(wèn)題診斷：較短時(shí)間內(nèi)檢測(cè)出產(chǎn)品問(wèn)題點(diǎn)，以達(dá)到盡快止損的目的。

我們的承諾

　　北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所承諾：我們將根據(jù)不同產(chǎn)品類型的特點(diǎn)，并結(jié)合不同行業(yè)和國(guó)家的法規(guī)標(biāo)準(zhǔn)，選擇適當(dāng)?shù)臋z測(cè)項(xiàng)目和方法進(jìn)行分析測(cè)試，或根據(jù)您的要求進(jìn)行試驗(yàn)分析。為了不斷改進(jìn)我們的工作，我們致力于提高產(chǎn)品質(zhì)控分析、使用性能檢測(cè)能力，并持續(xù)加強(qiáng)我們團(tuán)隊(duì)的科研技術(shù)。同時(shí)，我們將積極跟進(jìn)新的技術(shù)和標(biāo)準(zhǔn)，以最大程度地滿足您的需求和市場(chǎng)要求。